郦裕华那位香港议员丈夫和女儿不服判决,正准备上诉，要陈天鹤死刑才甘心。

陈天鹤被判刑后，数次托人找陈惊，还做着父子相认、兄弟齐心的美梦，陈惊不堪烦扰，后来干脆不外出，要么躲在蓝河科技实验室，要么回到安保性能强悍的别墅，总之就是陌生人不能靠近的地方。

时间久了，陈天鹤那边只好放弃再骚扰陈惊。

九月底，科大已经开学一个月，作为研究生的陈惊和盛明安因领了研发euv样机的任务，因此还逗留在津市。

此时，蓝河科技实验室。

十几个穿着白色防护服的人站在一台重约180吨、散发着淡淡的银白色光芒的大机器前，准备euv样机的第一次激光雕刻试验。

站在最前排的三人分别是盛明安、陈惊和微电子科技的程院长，后面一排则是雷客、杜颂和林成建，以及慕名而来的曹书记。

盛明安抬手比了一个手势，身后众人如遇到障碍物的鱼群般迅速散开，鱼贯而入，立在各自的操控岗位上监测数据。

与此同时，落地津市的华电科、华芯、紫光、华兴等半导体行业龙头的高层不约而同聚集在会议室内，每个人前面的电脑都放置着蓝河科技的股盘走势行情。

他们紧盯着手机，准备第一时间接收信息。

“怎么样？蓝河科技传出消息了没？”

“还没有。”

“唉！继续盯着，务必第一时间拿到消息。希望样机验收成功。”

类似的情形和对话分别在欧美、日韩等国的半导体龙头企业内部发生，他们也正在焦急等待海外华国一个规模不大却令人不敢小觑的科技公司的最新消息。

不过他们和国内企业家的愿望不同，他们在内心里不断发出恶狠狠的诅咒，尤其欧美国家诅咒最美，但愿蓝河科技的实验结果惨遭滑铁卢！

最好一直滑铁卢，永远不会成功！

很可惜他们注定会失望。

蓝河科技内，随着盛明安手势的指挥，矗立众人跟前的那台光刻机样机在漫长的一小时内完成了它的第一次验收。

样机看不见的内部，无数比头发丝还细的激光穿过几十个精密镜头后，准确击中锡液滴靶，四处分散的等离子体被收集，将掩膜版上的图形信息透过缩图透镜完完整整复刻到下面的晶圆，曝光晶圆。

一个小时后，各小组汇报结果。

“完成光刻试验任务，没有异常。”

“一小时内成功曝光160片晶圆，比目前已知的asml euv nex3400b机型每小时曝光125片晶圆吞吐量多达35片！套刻误差不超过2nm！”

“数据已全部记录，根据数据计算显示，可以在原样机的基础上将效率提高至少18%，套刻误差提高到2nm以下。”

“一片晶圆可得芯片数量等于晶圆面积/芯片面积晶圆直径/芯片对角线长，照该公式计算我们目前使用的12英寸晶圆一片可得到的芯片数量，不过最后可用的芯片数目得等到封测完毕才能知道最终的晶圆良率。”

经过光刻机曝光后的一大块晶圆还需要封装成一个完整的颗粒，再进行切割，最后测试。通过测试选出性能稳定、完好、容量足的芯片，剩下不合格的部分就会被当成废品处理。

稳定的芯片和不合格的芯片对比得出的数据称为晶圆良率，总良率超过90%才算可盈利的商品。

而晶圆制作过程历经三百多个步骤，其中随便哪个步骤出现差错就能导致整片晶圆损毁或拉低良率。

一粒肉眼看不见的灰尘掉进正在制作中的晶圆，它就会立即报废，所以光刻过程必须保证在恒温、无尘车间内工作。

“其余数据稳定！稳定！稳定！”

“13.5nmeuv样机，实验验收完毕！”

“验收通过！”

……